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測定元素:原子番号Na(11)~U(92)
管電圧:5、15、50(kV)(切替)
管電流:1~500µA
雰囲気:大気、真空
試料観察:CCDカメラ
検出器:Si半導体検出器
ユーティリティ:
液化窒素(1リットル/日)容量10リットル
検出器冷却のため液体窒素が必要となります
検出器分解能:165eV以下
分析領域:約3mmφ、約10mmφ
最大試料サイズ:
290(W)×160(D)×75(H) mm
使用電源:AC100V±10%
設置スペース(推奨):
1900(W)×1000(D) mm以上