【中古品】

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測定元素：原子番号Na(11)～U(92)

管電圧：5、15、50(kV)（切替）

管電流：1～500µA

雰囲気：大気、真空

試料観察：CCDカメラ

検出器：Si半導体検出器

ユーティリティ：

　液化窒素（1リットル/日）容量10リットル

　検出器冷却のため液体窒素が必要となります

検出器分解能：165eV以下

分析領域：約3mmφ、約10mmφ

最大試料サイズ：

　290(W)×160(D)×75(H) mm

使用電源：AC100V±10%

設置スペース（推奨）：

　1900(W)×1000(D) mm以上