蛍光X線膜厚計 SFT9200

【中古品】

SFT9200

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測定元素:原子番号Ti(22)~Bi(83)
線源:

 小型空冷X線管(Wターゲット、Be窓)
 管電圧45kV
 管電流1mA


検出器:比例計数管
コリメータ(〇型):0.025、0.05、0.1、0.2、0.3(mmφ)
試料観察:CCDカメラ

焦点合わせ:レーザーポインタ
フィルタ:

 一次フィルタ:Al-自動切替

 二次フィルタ:Co-自動切替


試料ステージ:

 (テーブル寸法)X:430,Y:330(mm)

 (移動量)X:400,Y:300,Z:50(mm)

装置寸法:

 520(W)×600(D)×445(H) mm

 

測定ソフト:薄膜FP法(最大5層膜、10元素)、検量線法
安全機能:試料扉インターロック、試料の衝突防止機能、装置診断機能

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