蛍光X線膜厚計 SFT9450

【中古品】

SFT9450
SFT9450

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測定元素:原子番号Ti(22)~Bi(83)
線源:

 小型空冷ハイパワーX線管(Moターゲット、Be窓)
 管電圧50kV
 管電流1.5mA


検出器:比例計数管+半導体検出器(LN2レス)
コリメータ(〇型):0.015、0.05、0.1、0.2(mmφ)
試料観察:CCDカメラ+ズーム光学系

焦点合わせ:レーザーポインタ
フィルタ:

 一次フィルタ:Mo-自動切替

 二次フィルタ:なし


試料ステージ:

 (テーブル寸法)X:420,Y:3370(mm)

 (移動量)X:400,Y:300,Z:50(mm)

装置寸法:

 930(W)×860(D)×900(H) mm

 

測定ソフト:薄膜FP法(最大5層膜、10元素)、バルクFP法(材料組成分析)検量線法
安全機能:試料扉インターロック、試料の衝突防止機能

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