TechnoorgLINDA社製品

【取扱製品】

TEMサンプル向け イオンミリング装置

Gentle Mill

最高品質のTEM/FIBサンプル作成用イオンビームワークステーション

 

Technoorg Lindaの”Gentle Mill”は、標準的な高エネルギーイオンミルまたはFIBで処理されたサンプルの最終研磨、簡単な洗浄および改善を目的として設計されています。

アーチファクトフリーのサンプルやダメージフリーのサンプル作成が必要なユーザーにお勧めです

 

特徴

『低エネルギーイオン源』

イオンエネルギー     100~2000eV

イオン電流密度      max.10mA/cm2

ビーム電流        7~80μA

ビーム直径        750~1200μm

『試料ステージ』     

ミリング角度       0度~40度(0.1度間隔)

ローテーション      360度

オシレーション      ±10度~±120度

TEMサンプル厚範囲    30~200μm


UniMIll

TEM/XTEMサンプル作成用 完全自動イオンビームシニング装置

 

Technoorg Lindaの”UniMill”は高品質TEM/XTEMサンプルを最高レベルのシニングレートで高速作成できるよう設計されています。高エネルギーイオン源で高速ミリングし、低エネルギーイオン源でクリーニングすることが可能です。

 

特徴

『超高エネルギーイオン源』(オプション)

イオンエネルギー     最大16keV

ビーム電流        最大500μA

イオンビーム直径     1.6~1.8mm(FWHM)

『高エネルギーイオン源』 

イオンエネルギー     最大10keV

ビーム電流        最大300μA

イオンビーム直径     0.9~1.3mm(FWHM)

『低エネルギーイオン源』 

イオンエネルギー     100eV~2keV

ビーム電流        80μA

イオンビーム直径     1.5~2.2mm(FWHM)

『試料ステージ』

ミリング角度       0度~40度(0.1度間隔)

ローテーション      360度

オシレーション      ±10度~±120度

TEMサンプル厚範囲    30~200μm

サンプル冷却機能     オプション


SEMサンプル向け イオンミリング装置

SEMPrep2

高品質でサイトスペシフィックなSEM用サンプル作成装置

 

Technoorg Lindaの”SEMPrep2”『SC-2100』モデルは高エネルギーイオン源と低エネルギーイオン源を搭載したSEM断面サンプル作成を目的として設計されています。

『SC-2100』モデルで搭載された16keVの超高エネルギーイオン源は、以前と比べスパッタレートがより高くなっています。

 

特徴

イオン源(2種)    高エネルギーイオン銃(最大10keV)または、

           超高エネルギーイオン銃(最大16keV:オプション)を選択

           低エネルギーイオン銃(100eV~2keV)

サンプルステージ   30°ホルダー

           90°ホルダー

サンプルチルト    0°~30°(0.1°間隔)

ローテーション    360°

オシレーション    ±10°~±120°(5°間隔)

サンプルクーリング  LN2クーリング(オプション)

           ペルチェクーリング(オプション)


その他製品

Micropol


Microsaw

カソードルミネッセンス検出器 SPARC

Microheat

カソードルミネッセンス検出器 SPARCcompact

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