TechnoorgLINDA社製品

最高品質のTEM/FIBサンプル作成用イオンビームワークステーション

Technoorg Lindaの”Gentle Mill”は、標準的な高エネルギーイオンミルまたはFIBで処理されたサンプルの最終研磨、簡単な洗浄および改善を目的として設計されています。

アーチファクトフリーのサンプルやダメージフリーのサンプル作成が必要なユーザーにお勧めです。

特徴

『低エネルギーイオン源』

イオンエネルギー　　　　　100～2000eV

イオン電流密度　　　　　　max.10mA/cm2

ビーム電流　　　　　　　　7～80μA

ビーム直径　　　　　　　　750～1200μｍ

『試料ステージ』　　　　　

ミリング角度　　　　　　　0度～40度（0.1度間隔）

ローテーション　　　　　　360度

オシレーション　　　　　　±10度～±120度

TEMサンプル厚範囲　　　　30～200μｍ

TEM/XTEMサンプル作成用　完全自動イオンビームシニング装置

Technoorg Lindaの”UniMill”は高品質TEM/XTEMサンプルを最高レベルのシニングレートで高速作成できるよう設計されています。高エネルギーイオン源で高速ミリングし、低エネルギーイオン源でクリーニングすることが可能です。

特徴

『超高エネルギーイオン源』（オプション）

イオンエネルギー　　　　　最大16keV

ビーム電流　　　　　　　　最大500μA

イオンビーム直径　　　　　1.6～1.8ｍｍ（ＦＷＨＭ）

『高エネルギーイオン源』　

イオンエネルギー　　　　　最大10keV

ビーム電流　　　　　　　　最大300μA

イオンビーム直径　　　　　0.9～1.3ｍｍ（ＦＷＨＭ）

『低エネルギーイオン源』　

イオンエネルギー　　　　　100eV～2keV

ビーム電流　　　　　　　　80μA

イオンビーム直径　　　　　1.5～2.2ｍｍ（ＦＷＨＭ）

『試料ステージ』

ミリング角度　　　　　　　0度～40度（0.1度間隔）

ローテーション　　　　　　360度

オシレーション　　　　　　±10度～±120度

TEMサンプル厚範囲　　　　30～200μｍ

サンプル冷却機能　　　　　オプション

高品質でサイトスペシフィックなSEM用サンプル作成装置

Technoorg Lindaの”SEMPrep2”『SC-2100』モデルは高エネルギーイオン源と低エネルギーイオン源を搭載したSEM断面サンプル作成を目的として設計されています。

『SC-2100』モデルで搭載された16keVの超高エネルギーイオン源は、以前と比べスパッタレートがより高くなっています。

特徴

イオン源(2種）　　　　高エネルギーイオン銃（最大10keV）または、

　　　　　　　　　　　超高エネルギーイオン銃（最大16keV:オプション)を選択

　　　　　　　　　　　低エネルギーイオン銃（100eV～2keV)

サンプルステージ　　　30°ホルダー

　　　　　　　　　　　90°ホルダー

サンプルチルト　　　　0°～30°（0.1°間隔）

ローテーション　　　　360°

オシレーション　　　　±10°～±120°（5°間隔）

サンプルクーリング　　LN2クーリング（オプション）

　　　　　　　　　　　ペルチェクーリング（オプション）