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測定元素:原子番号Na(11)~U(92)
コリメータ(分析スポット):
0.1mmφ、1.8mmφ(切換)
X線検出器:Si(Li)半導体検出器
管電圧:15kV、45kV、50kV(切替)
管電流:1mA
試料観察倍率:x40、x120
試料雰囲気:大気、真空
装置寸法:
590(W)×750(D)×710(H) mm
ユーティリティ:
液化窒素(1リットル/日)容量10リットル
検出器冷却のため液体窒素が必要となります
測定可能試料:
80(W)×80(D)×30(H) mm以内
試料台移動範囲:
縦75mmx横75mm
厚さ測定範囲
数十nm~20μmまで(対象元素による)
特徴:
セラミックスや金属材料、電子材料、食品中の異物、土壌や焼却灰等の構成元素の分析と電気・電子・輸送機器部品等に使われているめっきの厚み測定を非破壊で行います。